?產品介紹

 --MDPmap（MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試）是一個緊湊的離線臺式檢測設備，主要被設計用于生產控制或研發(fā)、測量少子壽命、光電導率、電阻率和缺陷信息等參數(shù)。其工作狀態(tài)為穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵下（μ-PCD）。

 --MDPmap（MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試）自動化的樣品識別和參數(shù)設置可以使該儀器方便地適應各種不同的樣品，包括從生長的晶圓到高達95%的金屬化晶圓之間不同制備階段的各種外延片和晶圓片。

 --MDPmap主要優(yōu)點是其高度的靈活性，它允許集成多達4個激光器，用于從超低注入到高注入的與注入水平相關的壽命測量，或者通過使用不同的激光波長提取深度信息。

?設備特點

 --靈敏度：對外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測，具有可視化測試的較高分辨率
 --測量速度：6英寸硅晶圓片，1mm分辨率 ，小于5分鐘
 --壽命測試范圍: 20納秒到幾十毫秒
 --沾污檢測：源自坩堝和生長設備的金屬(Fe)污染
 --測量能力：從初始切割的晶圓片到所有工藝加工的樣品
 --靈活性：允許外部激光通過觸發(fā)器，與探測模塊耦合
 --可靠性： 模塊化和緊湊臺式儀器，更高可靠性，正常運行時間> 99%
 --重現(xiàn)性： > 99.5%
 --電阻率：無需時常校準的電阻率面掃描

?設備參數(shù)